Glede na načela delovanja lahko senzorje tlaka razvrstimo v več vrst, vključno s keramičnimi kapacitivnimi, kovinskimi kapacitivnimi, tanko{0}}plastnimi merilniki napetosti, merilniki napetosti, silicijevimi piezorezivnimi, silicijevimi kapacitivnimi in silicijevimi resonančnimi tipi. Med temi resonančni tlačni senzorji ponujajo najvišjo natančnost, saj dosegajo natančnost do 0,01 % FS v celotnem temperaturnem območju (-40 stopinj do 85 stopinj). Zaradi svoje izjemne natančnosti se pogosto uporabljajo v aplikacijah, ki zahtevajo izjemno visoko tlačno natančnost, kot so merjenje globine oceana, referenčni standardi tlaka, merjenje parametrov letenja letala in meteorološki nadzor. Razlogi, zakaj silicijevi resonančni senzorji tlaka dosegajo tako visoko natančno merjenje tlaka, so naslednji:
1. Osnovna struktura silicijevega resonančnega tlačnega senzorja je simetričen dvojno-vpet silicijev resonator. Resonančna frekvenca resonatorja se spreminja z uporabljenim pritiskom. Ker je frekvenca intrinzična lastnost trdnih snovi, je manj dovzetna za nizko-frekvenčni šum in kaže minimalne spremembe s temperaturo. Rezultat tega naravnega učinka filtriranja je visoko razmerje med-signalom in-šumom.
2. Dvojno{1}}vpeta struktura resonatorja zagotavlja, da je neto zunanja sila, ko resonator vibrira, enaka nič. Poleg tega zaradi uporabe tehnologije anodne vezave MEMS celoten resonator deluje v vakuumskem okolju, s čimer se doseže visok faktor kakovosti.
3. Med postopkom načrtovanja so strukture za razbremenitev-napetosti vključene v toplotno občutljiva področja resonatorja za zmanjšanje toplotne obremenitve. To znatno zmanjša toplotno obremenitev resonatorja.
Izdelki silicijevega resonančnega tlačnega senzorja Xi'an Mihui Technology dosegajo visoko{0}}natančno merjenje tlaka z natančnostjo 0,01 % FS v celotnem temperaturnem območju. Ponujajo neprimerljivo letno stabilnost 0,01 % FS in podpirajo tako frekvenčni izhod kot digitalni izhod RS485. Ti senzorji pokrivajo meritve absolutnega tlaka od 100 kPa do 1 MPa. Specifikacije so naslednje:
Zainteresirane strani so vabljene, da nas kontaktirajo prek informacij na naši spletni strani.
